白光干涉儀的光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
白光干涉儀的測量應(yīng)用說明：
以測量單刻線臺階為例，在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插入對應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動計算機(jī)，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調(diào)整載物臺大概位置，對準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。
在計算機(jī)上打開光學(xué)3D表面輪廓儀測量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的低點，再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調(diào)整到計算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設(shè)置好要掃描的距離。按開始按鈕，光學(xué)3D表面輪廓儀可自動進(jìn)行掃描測量，測量完成后，軟件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。
白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高效率檢測。*的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
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